制程工艺最理想的真空泵，特别适用于化工和制药行业的各工艺流程。

极限压力: 0.01 - 1 hPa (mbar)
抽气速率 50 Hz: 110 - 2000 m³/h
抽气速率 60 Hz: 130 - 2500 m³/h

Industry干式螺杆真空泵能高效运行于众多工业领域。该型号展现了我们在无油真空技术所拥有的多年经验，具有如下重要设计优势：

可靠、坚固耐用

可变螺距与自由排气大大提高了该螺杆真空泵处理液体及粉尘的能力。其独特的温度分布起到了耐腐蚀作用。优化的效能降低了热负荷，从而延长了泵的使用寿命。
 应用导向

Industry 干式螺杆真空泵有多种版本可供选择，因此能订制适用于各种应用环境。此外还有 ATEX 版干式螺杆真空泵可供选用。

Semicon 干式螺杆真空泵为工艺严苛的半导体、太阳能、平板显示器生产及镀膜行业提供有效的解决方案。  

半导体系列类型真空泵的不同版本：DS（行业标准、气密、传统轴承系统）、BA（气密、悬挂式轴承系统、气冷型）、BC（气密、悬挂式轴承系统、水冷型）。所有这些真空泵都是专为半导体行业的复杂应用而设计的。